微电子、集成电路工业超纯水的应用
来源:上海纯水设备 2024/5/6 9:52:32 点击:
【上海纯水设备】微电子、集成电路工业超纯水的应用
半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、、微电子等工业需用大量的超纯水清洗半成品、成品。电子级水质分为五个行业标准,分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm。
电子工业超纯水处理设备通常采用两级反渗透主机加EDI模块,其基本工艺流程为:
原水→石英砂过滤器→活性炭过滤器→软化水装置→保安过滤器→一级高压泵→一级反渗透→纯水箱→二级高压泵→二级反渗透→纯水箱→增压泵→EDI→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点上海反渗透纯水设备 上海EDI超纯水处理设备 上海工业纯水设备 上海纯化水设备 上海实验室超纯水设备